电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)是目前可用的最灵敏的多元素分析技术之一,可以检测每升毫克至纳克水平的元素。 因此,它被公认为是多种工业中最重要的分析技术之一,包括但不限于半导体工业中的杂质监测,环境监测,地球化学分析,采矿和冶金,药物分析等。 ICP-MS为元素周期表中的大多数元素提供了极高的灵敏度(即低检测限)。
固体样品通常在分析之前溶解或消化。 感应耦合等离子体是一个非常强的电离源,它将样品完全分解成其组成元素并将这些元素转化为离子。 这些离子随后被提取并加速进入质量分析仪进行检测。 然后,通过与校准标准进行比较,将离子强度采集转换为浓度单位。 该技术对于准确的化学分析特别有效。
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