能量色散X射线光谱学

能量色散X射线光谱(EDS)是一种化学分析方法,可以与两种主要的电子束技术相结合 of 扫描电子显微镜(SEM)透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM).

与这些成像工具结合使用时,EDS可以从直径小至1纳米(STEM)的区域提供空间分辨的元素分析。 在SEM中,分析体积更大,范围可能在0.1到3微米之间。 电子束对样品的撞击会产生X射线,这些X射线是样品上存在的元素的特征。  EDS分析可用于确定各个点的元素组成,线扫描或绘制来自成像区域的元素的横向分布。

EDS的理想用途

  • 使用SEM / TEM成像的小区域的元素组成
  • 缺陷识别/映射

我们的强项

  • 快速的“第一眼”成分分析
  • 用途广泛,价格低廉,可广泛使用
  • 一些样品的定量(平坦,抛光,均匀)

限制

  • 通常,可以进行半定量分析
  • 样品量必须与SEM / TEM兼容
  • 样品必须是真空兼容的(不适用于湿有机材料)
  • 分析(和涂层)可能会限制后续的表面分析
  • 可能有许多元素峰重叠,需要仔细检查光谱

EDS技术规格

  • 检测到信号: 特征X射线
  • 检测到的元素: BU
  • 检测限: 0.1-1 at%
  • SEM采样深度: 0.1-3μm
  • STEM采样深度:  〜0.1微米(箔厚度)
  • 成像/绘图和线扫描: 有
  • 横向分辨率: 对于STEM-EDS为1-2 nm,对于SEM EDS为> = 0.1μm

To enable certain features and improve your experience with us, this site stores cookies on your computer. Please click Continue to provide your authorization and permanently remove this message.

To find out more, please see our privacy policy.