能量色散X射线光谱(EDS)是一种化学分析方法,可以与两种主要的电子束技术相结合 of 扫描电子显微镜(SEM), 透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM).
与这些成像工具结合使用时,EDS可以从直径小至1纳米(STEM)的区域提供空间分辨的元素分析。 在SEM中,分析体积更大,范围可能在0.1到3微米之间。 电子束对样品的撞击会产生X射线,这些X射线是样品上存在的元素的特征。 EDS分析可用于确定各个点的元素组成,线扫描或绘制来自成像区域的元素的横向分布。
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