材料表征

不同的分析方法需要不同的材料表征服务 EAG实验室使用30不同的材料表征方法为我们的客户提供答案。 通常,根据所需信息和样本的形式选择用于给定问题的一种或多种技术。大多数常用技术用于分析固体样本,尽管也可以进行液体和气体采样。

EAG的材料表征服务可能适用于:

  • 研究与开发:用于基础研究以及新概念和新材料的测试
  • 流程开发:测试新流程,设计和工具
  • 生产:鉴定来料; 监测; 质量控制
  • 流程改进:监控流程变更和后续流程绩效
  • 故障分析:调查污染/缺陷分析问题; 识别污染源; 好/坏的比较

在某些情况下,已经确定了感兴趣的材料,但是需要有关特定属性的更多信息,例如界面清晰度,特定元素的深度分布,形态,晶体结构,厚度,应力和质量(或许多其他特征) 。 在其他情况下,感兴趣的材料或成分尚未确定并且没有很好地表征。 需要有关材料身份和组成的信息。

以下是材料表征方法非常有用的领域:

薄膜分析

薄膜分析涵盖了一系列可能影响所用技术选择的可能情景:

  • 薄膜厚度范围可以从埃/Å(10-10m),通过微米/μm范围(10-6m)高达毫米/毫米(10-3米)。
  • 测量灵敏度因技术而异,从原子%范围降至十亿分之一(ppb)。
  • 横向分析区域的尺寸可以有效地限制,或者可以非常有限。

影片通常可以通过两种方式进行分析:垂直,自上而下或自下而上; 或水平横截面。 表面的自顶向下分析可以提供粗糙度,形态,表面组成和污染物信息。 随后的溅射可以发现其他信息,例如厚度,成分,元素的垂直分布以及掺杂剂和污染物水平。 横截面分析可以揭示层的厚度,晶粒尺寸和结晶度。

深度剖析

深度剖面是显示相对于深度(x轴)的浓度(y轴)的图。 它们可以通过连续监测关于深度的特定感兴趣物种来获得(例如 SIMS),或以逐步的方式通过去除材料,测量,然后重复该过程(例如, XPS or )。 感兴趣层的厚度和所需的检测限(或可实现的检测限)是确定给定样品的最佳技术的重要因素。

如果没有正确执行和解释,由于测量和样本的潜在复杂性,可能会将伪像和误差引入深度剖面中。 基于多种样本类型的多年先前经验,EAG对如何在优化条件下获取深度剖面而不引入不必要的工件有深入的了解。 同样,EAG提供的对数据的正确和准确解释也非常重要。

结晶度

虽然大多数其他材料表征分析技术提供样品的元素或分子信息,X射线衍射(XRD)在提供关于结构,结晶相(多晶型物),优选的晶体取向(纹理)和其他结构参数(例如微晶尺寸,结晶度百分比,应变,应力和晶体缺陷)的各种信息方面是独特的。

有关您的材料表征测试需求,请致电 +86 21 68796088与 EAG实验室联系。

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