薄膜分析

薄膜分析涵盖了各种可能出现的情况,这将会强烈地影响到分析技术的选择:

  • 薄膜厚度范围可以从几 Å(10-10m)到 µm(10-6m)范围,最高能达到 mm(10-3m)。
  • 因为技术的不同,测量的灵敏度也会有所不同,范围从at%到ppb。
  • 横向分析区域的大小可能是无限,或者也可能会受到非常大的限制。

一般情况下,可以使用两种方法来分析薄膜:垂直方向,从上往下或从底向上;或水平方向的横截面。

在表面由顶往下的分析会提供粗糙度、形态、表面成分和污染物信息。随后溅射可以发现更多的信息,例如厚度、成分、掺杂剂和污染物程度。横截面的分析则可以展示厚度、晶粒度和结晶度。

薄膜分析