RBS理论:偏离

在穿过一定厚度的目标时,侦测He原子不仅会失去能量,而且也不再是单能体。此外,藉由能量损失的计算去预测能量的分布。通过侦测He原子损失能量的过程,涉及大量沿着穿过样品的轨迹会与单个原子的相互作用。这会造成能量损失过程中的统计波动,随着能量分辨率在RBS侦测系统原有的局限,会限制原子在大样品的深度中发生背向散射所能达到的能量分辨率。根据背向散射粒子的能量可以对深度和质量进行准确测定,因此偏离会限制隐藏特性的深度和质量分辨率。

正如在能量损失率所指出,大部分的能量损失是通过和电子的相互作用而产生。因此,能量偏离就会随着目标元素的原子数量的增加而增加,因为原子数量会反映现有电子的数量。能量偏离会造成峰值的较低能量端出现倾斜。对于较厚部分来说,高原子量的材料,这种效应是非常明显的。如果没有考虑到能量偏离,峰值的斜坡端就会被误解为两层之间的混合。深度分辨率的准确性取决于怎样精确地计算偏离的程度。