SIMS理论:溅射效应

 串连式碰撞模式在定量解释一次离子束如何与样品原子发生相互作用的方面非常成功。在这个模式中,快速一次离子会在一系列二元碰撞中将能量传递到靶原子。能量靶原子(称为反冲原子)和更多的靶原子产生碰撞,通过样品表面反冲回去的靶原子会构成溅射材料。来自样品外部单层的原子可以被推动大约10 nm,进而产生表面混合情况。击返关系也适用于表面混合情况。

次级离子质谱法理论:溅射效应

 溅射会导致溅射坑表面粗糙。晶格缺陷,无论是已经存在的或者因表面混合出现的,可以形成条纹状、沟槽状、山脊状、圆锥状、结块状等等的粗糙表面。由于晶体取向所造成的不同溅射速率,会使多晶材料形成粗糙的溅射坑底。