SIMS仪器

SIMS历史

使用一次离子束轰击样品表面,接着测定发射的二次离子质谱构成二次离子质谱(SIMS)。

当早期质谱测定专家们注意到仪器建造材料的离子是来自离子源后,第一次出现了SIMS的模糊概念。后来,从离子源中提取离子并将它们加速传送到样品的实验,产生第一个SIMS一次离子束。第一个SIMS设备是在1960年代初,由美国NASA建造,用来分析月球岩石。当它表现好于预期时,原型的精准拷贝机器就被引入市场。在接下来的30年,SIMS在材料特性方面的应用稳定增长。

SIMS可以测定元素周期表中所有元素的微量分析。SIMS还可以提供样品中这些元素的横向和深度分析(微量分析)。电子材料产业(半导体、光电设备等)是SIMS的最大用户。地质领域也使用SIMS分析横向分辨同位素和元素。