SIMS理论:相对灵敏度因子

 SIMS的定量分析会以下列方程式中的相对灵敏性因子为依据来定义。

次级离子质谱法理论:相对灵敏性因数

 主要(或基质)元素通常被选为参考。利用M(基质)取代R(参考),重新整理后得到以下的方程式。

次级离子质谱法理论:相对灵敏性因数

 在微量元素分析过程中,可以假设基质元素浓度是常数。基质浓度结合元素相对灵敏度因子,提供更为便利的常数,RSF

次级离子质谱法理论:相对灵敏性因数

 RSF是感兴趣的元素与样品基质的函数。

次级离子质谱法理论:相对灵敏性因数

 请注意,RSFCE都具有同样的浓度单位。这是RSF方程式中最为常见的形式。