SEM(扫描电子显微镜)

扫描电子显微镜分析法SEM(扫描式电子显微镜)为样品表面和近表面提供高分辨率和长景深的图像。由于能够快速提供非常详细的图像,SEM目前是最广泛使用的分析工具之一。与EDS(能量色散X-射线光谱)的结合测量,让SEM可以提供几乎整个周期表的元素鉴定。

当光学显微镜不能提供足够的图像分辨率或是放大倍率时,EAG就会使用SEM来解决这个问题。SEM的应用范围包括故障分析、维度分析、制程特性、逆向工程和粒子鉴定。EAG的专业知识和丰富经验,对于我们所服务的行业和客户来说是非常宝贵的。一对一的个人服务,可以确保客户对分析结果及其意义有良好的理解。在分析过程中,客户会经常在场,进而实现数据、图像和信息的实时分享。

扫描电子显微镜分析法

 

 

 

 

 

 

 

 

应用范围

  • 高分辨率图像
  • 元素微量分析和颗粒特性

分析规格

  • 侦测讯号:二次电子、背向散射电子和X-射线,吸收电流、光(阴极发光)和感应电流(EBIC)
  • 侦测元素:B-U(EDS)
  • 侦测限制条件:0.1-1at%
  • 深度分辨率:0.5-3µm(EDS)
  • 影像/mapping:是
  • 横向分辨率/侦测尺寸:15-45Å

优点

  • 快速、高分辨率影像
  • 快速识别存在的元素
  • 良好景深
  • 支持许多其他工具的多功能平台

技术限制

  • 样品通常需要有真空兼容性
  • 可能需要蚀刻的对比度
  • SEM可能会破坏样品表面,影响后续分析
  • 因为尺寸限制可能会要求切割样品
  • 最终分辨率与样品及其制备有很大的相关性

产业应用

  • 航天工业
  • 汽车
  • 生物医学/生物技术
  • 化合物半导体
  • 资料存储
  • 国防
  • 显示器
  • 电子领域
  • 工业产品
  • 照明设备
  • 制药
  • 光学领域
  • 聚合物
  • 半导体
  • 光电太阳能
  • 电信