SIMS理论:相对灵敏度因子表

 下表为RSF的数值表(R.G. Wilson, Int. J. Mass Spectrometry. Ion Proc., 143, 43, 1995)显示灵敏度取决于感兴趣的元素。较低的RSFs意味着较高的灵敏度。需要注意的是高灵敏度元素的适当浓度可以使电子倍增管离子侦测器饱和。

以下的RSFs是在以一次氧离子源轰击、产生二次正离子和硅基质的条件下测量。

次级离子质谱法理论:相对灵敏性因数表

 以下的RSFs是在以一次铯离子源轰击、产生二次负离子和硅基质的条件下测量。

 次级离子质谱法理论:相对灵敏性因数表