Auger仪器:一次电子源

在AES中使用的一次电子源主要有三种。

  1. 钨阴极源由弯曲成发夹状的灯丝构成。灯丝通过电阻加热到~2700 K运行。钨阴极被广泛应用,因为他们可靠又不昂贵。横向分辨率受到限制,是因为钨阴极电流的密度只有大约1.75 A/cm2。
  2. 六硼化镧(LaB6)阴极会提供更高的电流密度,因为LaB6比起W有较低的功函数和更高的发射率。在2000 K时,电流密度可以到达~100 A/cm2。较高的电流密度可以提供较窄的电子束去分析较小的特点。
  3. 场发射电子源是由非常尖锐的钨点在电场可以>10 E7 V/cm中组成。在这些电场中,电子信道会直接穿过障蔽,以接近零功函数的状态离开发射器。场发射枪提供最明亮的光束(1 E3到1 E6 A/cm2)。然而,低功函数只能在极端干净的针尖获得。针尖上的单一原子可以增加功函数和减少电子发射。超高真空和连续加热(~2000 K)可以保持针尖清洁与电子束稳定。电子束可以窄到10 nm以提供Auger分析较小的特点。

Auger仪器具有类似电子显微镜的一次电子束光柱。这种光柱可以包括让电子束聚焦的静电和磁透镜,以及光束控制的四极偏转器和光束成形的八极透镜。