NRA(核反应分析)

NRA(核反应分析)用于测定薄膜中的低原子量元素(例如CNOB)。在NRA分析过程中,初级入射粒子诱发薄膜中低原子量原子核的核反应,以及喷射出特定核反应中带有特定动能的粒子(即特定的元素)。

核反应分析

核反应分析

NRA可以用于定量薄膜中B, C, N和 O的总浓度。相较于RBS,NRA可以在较低浓度范围内测量这些元素。通过结合使用RBS和NRA,就可以定量薄膜中轻元素的浓度。

只有为数不多的实验室可以提供商业化的NRA,或者与EAG广泛而深刻的经验相媲美,可以实现快速的分析时间、准确数据和个人服务。

应用范围

  • 测量薄膜中较低原子量的B, C, N和 O

分析规格

  • 侦测元素:C, N, O, B
  • 侦测限制条件:0.5-1%
  • 深度分辨率:无
  • 影像/mapping:无
  • 横向分辨率/侦测尺寸:大约等于1mm

优点

  • 非破坏性成分分析
  • 不需要标准品就可以定量
  • 全芯片分析(最高300mm)以及不规则和大尺寸样品
  • 导体和绝缘体分析
  • 对低原子量的元素灵敏度好

 

技术限制

  • 需要大的分析面积(1mm)
  • 无深度分辨率
  • 每种元素都要求特定的入射粒子,因此根据所需的元素,可能需要进行多次测量

 

产业应用

  • 航天工业
  • 国防
  • 半导体
  • 电信