形态和形貌

形态学和地形学

表面形貌分析(Morphology & Topography)中,Morphology是表面三维形状的一种定性评估,而Topography则是提供定量的特性尺寸。分析技术的选择取决于是否要求定性和/或定量的信息。

Morphology

形态,或者“样品看起来像什么”,使用成像技术进行分析是最好的评估,例如光学显微镜或是扫描式电子显微镜(SEM)。这些方法也可以提供层厚以及其他的定量信息。

 

形态学和地形学

Topography

利用原子力显微镜(AFM)、探针式轮廓仪或者光学轮廓仪可以测定粗糙度、高度差和特性尺寸。