纵向分布

深度分析是得到深度(X轴)与浓度(Y轴)的关系图。可以经由持续监控特定元素的深度(例如SIMS)来获得,或是通过去除材料、测量然后重复这个过程(例如XPS或者Auger)来逐步获得它们。对于需要分析的层的厚度和侦测极限是帮样品选择最佳分析技术的重要因素。

如果没有正确地完成分析,就可能会基于测量上的复杂性而给深度分析带来瑕疵和错误。根据先前在许多样品类型上积累的多年经验,EAG对于优化条件,避免不必要的瑕疵,进而获得深度分析,有深入彻底的理解。

深度剖析

主要分析技术

其他分析技术