SIMS理论:二次离子能量分布

 

溅射过程中会在一系列(平移)的动能范围内产生二次离子。原子和分子离子的能量分布有很大的不同。分子离子具有较窄的平移能量分布,因为他们在内部振动和转动模式下具有动能,而原子离子在移动模式下具有所有的动能。以下的图片显示了单原子、双原子和三原子离子中典型的能量分布。

次级离子质谱法理论:次级离子能分布