GDMS(辉光放电质谱)

辉光放电质谱分析法

固体样品使用GDMS(辉光放电质谱)测量分析,在Ar电浆辉光放电中将阴极固体样品表面电离或溅射出中性粒子,再与电子碰撞而被释放。GDMS高灵敏度、容易校准、灵活和可以稳定地分析各种不同的样品与基材,对于痕量元素分析来说是不错的选择。除了全元素测量之外,还有可能利用较高的灵敏性来测量和定量评估元素分布的深度。

EAG是GDMS分析服务的行业领导者,可以针对各种不同类型的固体、薄膜和涂层提供最佳的探测极限,以及确定准确的质量百分比。EAG在GDMS分析领域内深厚而广泛的经验以及对于分析方法研发的投入程度都是业界领先的,EAG具有世界上最大规模的GDMS仪器以及高素质的分析人员,帮助客户解决材料方面的问题。

EAG通常会使用GDMS分析来帮助客户解决多种行业内的问题,包括研发、质量控制、过程监控和开发。EAG通过对个人的服务,使得客户对分析结果以及潜在含义有了更为全方面的理解。

应用范围

  • 高纯度先进无机固体(金属、合金、石墨、半导体、氧化物和陶瓷)的全元素测定
  • 薄膜和涂层的痕量与超痕量深度分布
  • 从少量样品中鉴别未知元素
  • 粉末和微粒的全元素特性

分析规格

  • 侦测讯号: 离子
  • 侦测元素:全部元素周期表(稳定同位素的全测定,氢元素除外)
  • 侦测限制条件:~μg/kg (ppbw)
  • 典型的取样面积:介于5-15mm(50-80mm2)之间

优点

  • 整个元素周期表(稳定同位素的全测定,氢元素除外)
  • ~ppb (μg/kg) 到ppt (ng/kg)侦测极限
  • 最小的基质效应
  • 线性和简单的校正
  • 分析陶瓷和其他绝缘体的能力
  • 利用高度灵敏性进行元素的深度分布

技术限制

  • 样品异质性
  • 挥发性的样品
  • 不适用有机材料/聚合物

产业应用

  • 溅射靶
  • 航天工业
  • 耐熔金属和合金
  • 稀土金属和金属氧化物
  • 电子材料
  • 光电和发电材料
  • 高纯度材料生产