FTIR(傅利叶红外光谱)

傅立叶转换红外线光谱学分析

FTIR(傅立叶红外光谱),是一种显示分子振动的光谱,其目的是鉴定或辨别有机材料的特性,例如聚合物、润滑剂、黏合剂和清洗剂。少数的无机化合物也可以使用FTIR来进行分析。对于半导体来说,FTIR用于定量测量在SiN中的氢键,以及测量Si块材间隙中的氧含量。

EAG,大部分的FTIR分析都是使用Microscope FTIRMicro-FTIR,最小光点直径为15µm,对于直接分析金属表面的有机污染物是很理想的量测,例如焊盘或接点。对于非金属表面上的污染识别物,如透镜或其他光学组件,或用于分析有机材料的块材,EAG 能对上述的样品做专门的样品制备。

傅立叶转换红外线光谱学分析

EAG的分析科学家在应用FTIR解决各种有关有机材料或者有机污染物的问题方面有丰富的经验和渊博的知识。他们会提供经验、快速的处理时间、清晰简洁的书面报告以及个人服务,帮助客户解决相关的材料问题。

 

 

应用范围

  • 鉴别有机污染物(例如颗粒和残留物等等)
  • 鉴定或辨别有机材料的特性(例如,固体、粉末、薄膜或者液体)
  • 鉴定Si芯片中的O和H,以及SiN芯片中的H(Si-H vs. N-H)

分析规格 

  • 侦测讯号: 红外线吸收
  • 侦测元素:分子团
  • 侦测限制条件:0.1-1wt%
  • 深度分辨率:0.1-2.5µm
  • 影像/mapping:否
  • 横向分辨率/侦测尺寸:大于等于15µm

优点

  • 能够鉴别有机官能基团,通常是特定的有机化合物
  • 鉴定化合物的丰富谱库
  • 环境条件(非真空;适合挥发性化合物)
  • 典型的非破坏性分析

技术限制

  • 最小分析面积:~15µm
  • 表面侦测灵敏度有限(典型的取样量是~0.8µm)
  • 最小分析面积:~15µm
  • 提供有限的无机物信息
  • 典型的非定量分析(需要标准片才能定量)

产业应用

  • 航天工业
  • 汽车
  • 生物医学/生物技术
  • 化合物半导体
  • 资料存储
  • 国防
  • 显示器
  • 电子领域
  • 工业产品
  • 照明设备
  • 制药
  • 光学领域
  • 聚合物
  • 半导体
  • 光电太阳能
  • 电信