RBS仪器:聚焦装置

在加速器和样品之间通常会放置两个离子光学设备。磁场会从He++离子束中分离出He- He,或He+。四极透镜会形成电子束,并将其聚焦在样品内。在高能量(刚性)离子束中需要相对较强的离子弯曲和聚焦组件。高能量离子束提供了一个重要的分析优势。

 

与大部分带电粒子的分析方法相比,RBS分析的样品可以是绝缘的。即使这些样品电荷充电到几千伏特,刚性电子束几乎不会发生偏离。样品带电只会造成RBS光谱轻微的干扰,因为千伏特的充电效应只是兆伏特粒子能量中的一小部分。