RBS仪器:样品室

主要样品室是由一个场所、一个或多个侦测器、光束入口和真空系统所组成的。这个样品室是一个简单的轮盘,并附有单一能量分散光谱仪。

 

更典型的是将样品安装在五轴测角器上,这样方便将许多样品加载真空系统,并按顺序进行分析。测角器还可以倾斜和旋转样品。比较不同的入射和出射光束角度获得的光谱,可以提供样品成分更好的特性深度函数。随机地倾斜和旋转样品可以避免因为入射光束所产生的任何光谱变化,因为入射光束会向下进入样品晶体结构的沟道中。两个表面位障侦测器(一个法线角,一个掠射出口),都包含在一个典型的RBS样品室。