Auger理论:元素的定量

Auger电子峰值和元素浓度成正比。然而,很少可以从基本原理去测量浓度。有几种仪器因素会影响Auger峰值。这些因素包括一次电子束能量、样品取向、能量分辨率以及分析器的接收角。

样品中元素的化学态也会影响Auger元素分析过程。峰值强度和峰形变化,尤其是氧化态官能基。从微分的数据进行定量时,峰形的变化是很重要的。

定量分析时,必须要考虑到样品的非均匀性。样品必须要是均匀的,一次电子束直径进行分析时才会是准确的。Auger讯号主要取决于一次电子束直径的分析容积。如果电子束直径比非均匀的区间更为狭窄,那么对于样品上的岛状物可以做出有意义的分析。分析容积的厚度较小,是因为Auger具有高表面敏感度。因此,被分析的表面可能无法代表整个块材材料。例如,当暴露在空气中时,许多金属样品会产生薄氧化膜。尽管有上述的考虑,元素浓度定量是可能的,相对灵敏度因子可以在相同样品基质中被测量得到。

典型的Auger分析会获得主要和次要元素的定量。其浓度范围和Auger分析侦测极限是一致的(10.01%)。(相较之下,SIMS通常是提供微量元素的定量,主要元素基本上视为常数)因为所有的元素(包括基质)的浓度在Auger测量中会有所不同,有必要将浓度表达统一为相对于所有其他数量的百分比(CE%)。

Auger理论:元素量化

 此方程式的下一个部分会使用与SIMSRSF相同的逻辑

Auger理论:元素量化

将上面方程式右侧的RSF以浓度(CECX)代入(消除分子和分母中的基质电流)得到下面的方程式。这个公式是Auger元素定量中最常见的方法。然而,要注意的是AugerRSF通常是这些定义的倒数。(他们必须由除法并入Auger讯号,而不是相乘)。

Auger理论:元素量化