Auger仪器:电子能分析器

Auger仪器:电子能分析器

电子能量分析器会测量射出电子数量得到电子能量的方程式。分析器必须置于高真空室内,并要与偏转电子的杂散磁场(包括地球)隔离。过去Auger光谱仪使用了几种不同类型的电子能量分析器,包括球面扇形和圆柱镜分析器。然而,现代仪器几乎都是使用圆柱镜分析器,因为他们的高传输效率带来更好的讯噪比。示意图以红色显示圆柱镜分析器的横截面。在分析器的源点,一次电子束会撞击样品表面。Auger电子会从所有方向向外移动,有些电子会穿越内部圆柱中有网格覆盖的孔。外部圆柱上可变的负电压会让Auger电子弯曲回通过内部圆柱上的第二个孔,然后通过分析器上的轴出口孔。发射电子的能量与外部圆柱上的电压(-V)成正比。