Auger理论:电子束效应

当电子束冲击样品表面时,会产生大量不同的交互作用。当高能电子(1到30keV)冲击样品原子并且和几乎所有的能量反冲时,会产生弹性散射。(RBS动力学因子方程式适用于这种情况,并指出25keV的电子冲击表面铁原子会有1eV能量损失,与180度的散射)。因为穿过材料,电子束会损失能量,进而使背向散射电子的能量分布变宽。当一次电子放弃多数的能量时,有几种机制会发生非弹性散射。

  • 当离子核之间的自由电子气体吸收能量时,就很有可能出现电浆激发。典型的电浆激发涉及到大约15eV的能量转移到固体。
  • 导带激发会喷射出松散结合的传导电子为二次电子。大部分会带着0到50eV的动能离开。
  • 当一次电子在原子的库伦场会经历减速,发生制动辐射(来自德国的"braking radiation")。制动辐射由零和一次电子束能量之间扩散的X射线光子能量所构成。
  • 晶格振动(光子)的激发会传送电子束能量实质的部分到样品作为热量。
  • 当吸收大量的一次电子能时,内层电离就会以高能量状态离开原子。