EDS(能量色散 X射线光谱)

能量分散X-射线光谱分析EDS(能量色散X-射线光谱)是一种可以与SEM(扫描电子显微镜),TEM(透射电子显微镜)和STEM(扫描透射电子显微镜)配合使用的分析技术。

能量分散X-射线光谱分析

 EDS和这些影像工具结合到一起时,可以提供直径小至nm的区域进行元素分析。电子束对样品的撞击会产生样品元素的特性X-射线,EDS分析可用于确定单点的元素成分,或者绘制出成像区域元素的横向分布。

 

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 应用范围

  • 小面积成像和元素构成
  • 样品缺陷中的元素鉴别/制图

分析规格

  • 侦测讯号: 特性X-射线
  • 侦测元素:B-U
  • 侦测限制条件:0.1-1at%
  • 深度分辨率:0.5-3μm
  • 影像/mapping:是
  • 横向分辨率/侦测尺寸:大于等于0.3μm

优点

  • 快速,“初步”成分分析
  • 多功能、便宜,广泛适用
  • 某些样品定量分析(平坦、抛光和均匀)

限制条件

  • 非平坦、抛光和均匀的样品半定量
  • 对样品尺寸的限制
  • 样品必须和真空兼容(不适合湿式有机材料)
  • 分析(和涂层)可能会破坏后续的表面分析
  • 对原子量较低的元素有较差的灵敏度

 

产业应用

  • 航天工业
  • 汽车
  • 生物医学/生物科学
  • 化合物半导体
  • 资料存储
  • 国防
  • 显示器
  • 电子学领域
  • 工业产品
  • 照明设备
  • 制药
  • 光学领域
  • 聚合物
  • 半导体
  • 光电太阳能
  • 电信