SIMS:深度分辨率

深度分辨率取决于溅射坑的平底坑。现代仪器提供统一的溅射电流精细地扫描聚焦一次离子束在一个正方形区域的光栅图案。在有些仪器中,光闸口会从坑底中选择二次离子,而不是边缘。另外,数据处理系统会忽略当一次离子束溅射在其光栅图案末端时,所产生的二次离子。