污染物

出现出乎意外和无法追溯的污染物,会对制程造成重大的影响,因此关键是要对其了解与控制。基于这个理由,大部分的材料特性分析工作都专注于搜索污染物,搜索污染物的来源,并且测量去除/清除污染物的效力。

依据污染物的性质和分析目的,那种技术最为合适?

  • 预计污染物是有机物还是无机物?
  • 预计是存在大量污染物或者只有一小部分?
  • 预计污染物是广泛分布、局部化或者是微粒结构?
  • 预计是在表面、在特定层、在界面或者是在基材?
  • 痕量程度重要吗?或者它的存在要在一定程度以上才重要呢?

技术选择

污染物根据不同类型的污染物,以下列出的都是潜在的重要技术。在某些情况下,需要将几种技术结合起来使用,尤其是当我们对污染物知之甚少,或者如果它是多种成分的混合物。