SIMS理论:体相分析

对于均匀分布的分析物样品来说,块材分析会提供比深度分析更好的侦测极限,通常会高于一个数量级。在块材分析中,更快的溅射速率会增加二次离子的讯号。以较快的速度溅射会需要很强烈的一次离子束,因此会牺牲深度分辨率,因为他们不能把重点放在得到平底的溅射坑(光栅)。另外,块材分析和深度分析类似,离子强度的数据以时间函数来表示。这提供了一种方式,以验证样品确实是均匀的。在典型的非均相样品,分析物集中在较小的区域,会使数据流中产生尖峰。