AES(Auger电子能谱)

Auger电子光谱法分析AES(Auger电子能谱)是一种利用高能量电子束作为激发源的高灵敏度表面分析技术。由电子束激发产生的能量,刚好能满足原子外围电子的束缚能,使电子恰能脱离,产生"Auger"电子。发射Auger电子所需的动能主要是由样品表面5-10nm范围内的元素所决定。

电子束可以扫描一个可变尺寸的区域,或是直接聚焦在感兴趣的小面积区域。可将电子束聚焦在直径为10-20nm区域的能力,使得Auger成为在分析小面积的样品表面元素特性是非常有用的工具。与离子溅射源结合使用时,Auger就可以分析样品表面组成的深度分布。

Auger电子光谱法分析EAG在处理常规和特殊要求的Auger分析方面积累了多年的经验,也已经将Auger应用到许多行业研究之中。

EAG丰富的Auger专业技术具有直接的分析效益,不论是在分析~μm粒子来确定芯片处理设备的污染源,还是分析电子设备的缺陷来调查故障的根本原因。此外,Auger在冶金研究方面也具有广泛的应用,包括测量电解抛光医疗器械的氧化层厚度,EAG会继续发挥其经验优势,为我们的客户帮助解决各种问题

应用范围

  • 缺陷分析
  • 粒子分析
  • 表面分析
  • 小面积深度分析
  • 薄膜成分分析

分析规格

  • 侦测讯号: Auger电子,来自近表面的原子
  • 探测元素: Li-U
  • 侦测限制条件:0.1-1at% ~monolayer
  • 深度分辨率: 20-200Ǻ (分析模式)
  • 影像/mapping:是
  • 横向分辨率/Probe Size:>=0.2μm (LaB6源)>=70Ǻ (场发射)

优点 

  • 小面积分析(最小~30nm)
  • 优秀表面侦测灵敏度(5-10nm深度信息)
  • 良好的深度分辨率

技术限制

  • 最佳定量需要标准片
  • 分析绝缘体很困难
  • 样品须能放入真空
  • 侦测灵敏度较差(最佳仅到0.1atom%)

产业应用

  • 航天工业
  • 生物医学
  • 资料存储
  • 国防
  • 显示器
  • 电子领域
  • 半导体
  • 电信