Auger理论:Auger用途

AES能提供许多种类的表面、薄膜和界面的成分信息。典型的样品包括原始半导体材料和电子成品设备。这些设备许多都是由薄层构成。例如,Auger可以区别在硅芯片上10nm层中的SiSiO2SiOSi3N4

Auger分析的容积有可能降至大约3e-19 cc。在电子成品设备和电子半成品设备中分析单个小的特性是非常普遍的。许多其他的分析则取决于微量分析能力,来辨别异类材料的特性。例如,失效材料的Auger分析是很普遍的。对钢块断裂表面进行检验,以确定是否存在不正常的元素,例如金属晶界的铅含量。和Auger形成对比的是,小且精细聚焦的微量分析技术只能提供较大分析容积中的平均浓度。