Auger理论:Auger的局限性

尽管被广泛应用,但是Auger还是有其限制。它不能侦测H或者He。它不能提供非破坏性深度分析。它要求较小的样品,并且要和真空兼容。有时候,非导电样品会在电子束轰击下带电,使其不能简单地分析。Auger的元素定量取决于仪器、化学和样品本身等相关因素。