Auger仪器

历史

1923年,Pierre Auger发现当使用X射线照射样品时会出现Auger过程和Auger电子。最初是由J. J. Lander1953年提出利用电子激发Auger讯号进行表面分析。直到1967年,Larry Harris论证使用微分法来增强Auger讯号。这种发展会为有用的测量提供所需的灵敏度。早期的鉴别工具是使用仿真电路和锁相放大器直接提供微分的光谱,但是更多现代仪器是直接获得电子强度,并使用计算机显示器运算法来提供微分的光谱。现今AES是表面、薄膜和界面最常用的成分分析方法。这个实用方法主要包含表面特性(0.510nm)、良好的横向表面分辨率(小至10nm)、整个周期表(除了氢和氦)以及合理的灵敏度(大部分的元素都是100ppm)。