Auger理论:Auger纵向分布

对于样品的深度分析,Auger仪器设备会以离子束溅射将材料从样品表面去除。一个典型的深度分析循环是溅射一个小增量到样品,停止,测量Auger能谱的相关部分,再利用公式进行元素定量分析。