Auger理论:Auger 分析容积

电子束会被分散成较小的容积,通常是1立方微米(1e-12 cc)。在这个容积,大部分的X-射线都会辐射出来。更小的容积发出的Auger讯号,会下降到大约3e-19 cc

Auger理论:Auger 分析量级

X-射线分析的容积会随着电子束的能量而增加,材料的较高原子数而下降。Auger分析容积主要取决于电子束直径和Auger电子的逸出深度。电子的平均自由路径取决于他们的能量以及样品的材料。在约80eV会产生最小平均自由路径(~ 0.5nm)。根据实际的分析条件,平均自由路径可能会增大多至~25nm