Auger仪器:Auger数据显示算法

Auger能谱显示为微分形式,可以强化Auger峰的清晰度,淡化相对强度和无结构背景。在Auger能谱的所有区域都会有强烈的干扰讯号伴随着Auger电子。这些干扰包括来自二次和背向散射电子的贡献,以及从样品表面之下逸出的Auger电子所损失的能量。第一个图显示了一个由总电子讯号NE)和电子能量所绘制成的典型Auger能谱(铁)。Auger峰在扩大垂直比例后变得不明显。

Auger仪器:Auger数据显示运算法则

绘制能谱使用电子讯号的微分,dN(E)/dE,可以让能谱的一些细节变得清晰。

Auger仪器:Auger数据显示运算法则

前两个图是着重在能谱的高能量端。将总电子讯号和电子能量相乘,E x N(E),会突显出高能量,如下图。

Auger仪器:Auger数据显示运算法则

最后,将以上函数进行微分,d[E x N(E)]/dE,清楚地显示AES的特点。这个形式,d[E x N(E)]/dE,是最常呈现Auger数据的方式。

Auger仪器:Auger数据显示运算法则